- экспонирование резиста
- resist exposure, (для формирования топологии ИС) writing
Русско-английский словарь по радиоэлектронике. — Руссо. 2005.
экспонирование резиста
Look at other dictionaries:
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ — метод микроэлектронной технологии, заключающийся в формировании с субмикронным разрешением защитной маски заданного профиля на поверхности подложки; осуществляется при помощи рентг. излучения длиной волны l 0,4 5 нм; один из методов… … Физическая энциклопедия
литография оптическая — Термин литография оптическая Термин на английском optical lithography Синонимы фотолитография, photolitigraphy Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист Определение … Энциклопедический словарь нанотехнологий
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Рентгеновская литография — Рентгеновская литография технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское … Википедия
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
